Laboratory and Equipment


点此预约 (仅内网可用)
NAS服务器(仅内网可用)


制备与工艺设备:

大型电子束蒸发设备

自制ALD沉积(配等离子体)

光刻机(精度5微米)

管式退火炉(高温1200度)

快速热退火

超临界干燥仪

反应离子刻蚀仪




测试和表征设备:

高速摄像显微镜

光纤耦合光谱仪

微区光致发光谱仪

三维磁操控平台

电学及光电谱测试仪

紫外可见光吸收谱仪


42832021年07月12日
Download for teaching only