Laboratory and Equipment


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制备与工艺设备:

大型电子束蒸发设备

自制ALD沉积(配等离子体)

光刻机(精度5微米)

管式退火炉(高温1200度)

超临界干燥仪

反应离子刻蚀仪




测试和表征设备:

高速摄像显微镜

光纤耦合光谱仪

微区光致发光谱仪

电学及光电谱测试仪

紫外可见光吸收谱仪

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